HF-

Parallel fabrication of silicon concave microlens array by femtosecond laser irradiation and mixed a

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A method of multi-beam femtosecond laser irradiation combined with modified HF-HNO3-CH3COOH etching is used for the parallel fabrication of all-silicon plano-concave microlens arrays (MLAs). The laser beam is split by a diffractive optical element and focused by a lens to drill microholes parallely on silicon. An HF-HNO3-H2SO4-CH3COOH solution is used to expand and polish laser-ablated microholes to form microlenses. Compared with the HF-HNO3-CH3COOH solution, the solution with H2SO4 can effectively reduce the etched surface roughness. The morphologies of MLAs at different laser powers and pulse numbers are observed. The image array formed by the silicon microlenses is also demonstrated.
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期刊论文Parallel fabrication of silicon concave microlens array by femtosecond laser irradiation and mixed a发表于2016年14期ChineseOpticsLetters作者AnPan,TaoChen,CunxiaLi,andXunHou,本篇论文的所有权归原作者AnPan,TaoChen,CunxiaLi,andXunHou所有,如果您对本文有版权争议,可与客服联系进行内容授权或下架。