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本文描述了射频/微波MEMS shunt开关的理论模型和数值结论，把可动薄膜的运动近似地模拟为作用在可动薄膜上的变静电力、弹力与空气阻力的单自由度阻尼振动，给出了典型MEMS shunt开关开启时间的数学表达式及数值计算值，根据可动膜厚、材料和几何结构参数不同，得到了典型的MEMS shunt开关的开启时间大约为1-40μs，其计算值同文献[4]的值相符得很好，本文还讨论了该理论模型和数值计算的局限性。