【摘 要】
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据《Simeconductor FPD World》2009年第6期报道,新日本制铁尖端技术研究所日前公布将开始量产SiC圆片,目前可以批生产2英寸、3英寸、4英寸圆片,在2、3年内各个尺寸的量产规
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据《Simeconductor FPD World》2009年第6期报道,新日本制铁尖端技术研究所日前公布将开始量产SiC圆片,目前可以批生产2英寸、3英寸、4英寸圆片,在2、3年内各个尺寸的量产规模是月产400枚,6英寸SiC圆片计划在2011年研制出样品,2015年进入批生产。SiC圆片市场居Cree公司之后,排
According to the “Simeconductor FPD World” 2009 the sixth period reported that the new Japan Iron and Steel Institute of Advanced Technology announced the mass production of SiC wafer, the current batch can be produced 2-inch, 3-inch, 4-inch wafer, 2,3 During the year, the production scale of each size is 400 pieces per month. The 6-inch SiC wafer plans to develop samples in 2011 and enter batch production in 2015. SiC wafer market after Cree company, row
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