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以二水醋酸锌为原料，使用溶胶凝胶法在玻璃基体上旋涂氧化锌薄膜。用X射线衍射、室温光致发光、可见分光光度计等方法对薄膜的结构、光学特性进行了研究，同时结合AFM和分光光度计，讨论了不同退火温度对氧化锌薄膜结构，透光率的影响。结果表明：随着退火温度的升高，ZnO薄膜衍射峰增强，其中在500℃时，（002）峰最强，即沿C轴的取向性最好，晶粒尺寸依次增大，其中500-550℃时，晶粒尺寸比较小且分布均匀，平均粒径40nm，表面粗糙度最小，小于8nm；退火温度为550℃时，ZnO薄膜的透光率最高，达96％以上。并在