【摘 要】
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一般来说,在液体和空气中构成放电现象的基本粒子有电子、离子、中性原子和分子,这里所说的离子加工(I on Machining)是积极利用其中的离子的加工方法。离子轰击金属原子时
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一般来说,在液体和空气中构成放电现象的基本粒子有电子、离子、中性原子和分子,这里所说的离子加工(I on Machining)是积极利用其中的离子的加工方法。离子轰击金属原子时会引起溅射现象,是格罗夫(W.R.Grove)于1852年发现的。近几年来,从1950年左右开始又再度受人注意,轰击材料而进行蚀刻,以及离子轰击而使飞散
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Ma Haitao, m
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