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有限元法是将连续体离散化,通过对有限个单元做分片插值求解各种力学物理学问题的一种数值方法。利用Solid Works建立镀膜机真空室三维模型,将其通过接口导入ANSYS Workbench进行有限元分析,通过网格划分,施加载荷,求解计算对模型进行静力学分析得到真空室的变形情况,并在后续优化设计中提供参考。