论文部分内容阅读
为了研究激光直写技术在光波导制备中的应用，采用波长为1．07μm的连续光纤激光器制备了硅基SiO2-TiO2条形光波导。探讨了激光直写技术制备条形光波导的原理，研究了激光参数对条形光波导宽度的影响，最后测试了光波导的通光模场以及光传输损耗。结果表明，条形光波导的宽度随着激光功率密度的增加而增大。当激光扫描速率在0．1mm／s～1mm／s范围内变化时，条形光波导的宽度随着激光扫描速率的增加而降低；高于1mm／s时对波导宽度无明显影响。在优化的工艺参数下，激光直写得到的条形波导的厚度约为0．4μm，宽度为12