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技术开发单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 技术简介该研究所采用垂直梯度凝固（VGF）锗单晶生长技术制备超薄锗片，突破了4英寸超薄锗单晶片的切割、研磨、抛光、清洗、测试和封装等关键技术，
聚光型太阳能系统用 锗衬底片产业化技术
【摘 要】
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技术开发单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 技术简介该研究所采用垂直梯度凝固（VGF）锗单晶生长技术制备超薄锗片，突破了4英寸超薄锗单晶片的切割、研磨、抛光、清洗、测
【出 处】
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军民两用技术与产品
【发表日期】
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2014年1期
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