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在X射线荧光（XRF）分析中应用基于基本参数法的FP—Multi软件，采用C固定道和Ti、Al、Si扫描道，以99．999％石墨及纯Al、Ti、SiO2四个块样做标样，对玻璃基材上含有C元素的TiO2薄膜厚度及成分进行了测试分析。薄膜厚度的测定结果还与用nkd干涉仪、扫描电镜断面分析等方法的测试结果做对比。证明X射线荧光光谱法测定玻璃基材上C＋TiO2薄膜厚度及成分是可行的。