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介绍了一种用于电镜扩散泵（ＤＰ）的封闭式加热器，它具有结构简单、安装及检修方便，成本低廉等特点。该装置适应于ＪＥＭ－２００ＣＸ电镜及ＪＥＥ－４Ｘ真空喷镀仪配置，近年来的使用证明该装置完全可以替代原装进口封闭式加热器。
一种简易扩散泵封闭式加热器
【摘 要】
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介绍了一种用于电镜扩散泵（ＤＰ）的封闭式加热器，它具有结构简单、安装及检修方便，成本低廉等特点。该装置适应于ＪＥＭ－２００ＣＸ电镜及ＪＥＥ－４Ｘ真空喷镀仪配置，近年来的使用证明该装置完全可以替代原装进口封
【机 构】
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中国矿业大学
【出 处】
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分析测试技术与仪器
【发表日期】
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1997年02期
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