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通讯等应用领域微型化的需求和微机械加工技术的进步推动了基于微机电系统(MEMS)技术的微继电器的快速发展。介绍了国外MEMS微继电器的研究现状,分析了不同类型MEMS微继电器的特点,讨论了MEMS微继电器的基本结构特征和关键问题,并分析了MEMS微继电器的发展趋势和面临的挑战。
MEMS微继电器及其关键问题研究现状
【摘 要】
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通讯等应用领域微型化的需求和微机械加工技术的进步推动了基于微机电系统(MEMS)技术的微继电器的快速发展。介绍了国外MEMS微继电器的研究现状,分析了不同类型MEMS微继电器
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2006年03期
【基金项目】
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国防预研基金资助项目
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