【摘 要】
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为消除方块电阻不均匀性对太阳能电池板性能的影响,提出了一种通过式扩散方法。首先,设计了扩散炉结构,定义了通过式扩散方法的扩散步骤,并建立了方块电阻和扩散时间、扩散温
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（编号：70771089）
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为消除方块电阻不均匀性对太阳能电池板性能的影响,提出了一种通过式扩散方法。首先,设计了扩散炉结构,定义了通过式扩散方法的扩散步骤,并建立了方块电阻和扩散时间、扩散温度以及气体流量的关系的数学模型。其次,采用抽样统计方法,通过建立数学模型,计算各测试点的方块电阻及其方差,验证了该方法的有效性,为扩散工艺的改善提供借鉴。
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