【摘 要】
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助熔剂法是一种高效生长SiC晶体的方法.本文采用助溶剂法对比考察了Si、Si-Fe合金熔体中SiC晶体生长行为特征,并结合光学显微镜以及电子显微探针对SiC晶体进行分析.研究发现,
【机 构】
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北京科技大学冶金与生态工程学院,燕山大学亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室
【基金项目】
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中央高校基础科研业务费专项基金资助项目(FRF-BD-20-04A),河北省省级科技计划资助项目(20311004D,20311005D,20311006D,20591001D)。
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助熔剂法是一种高效生长SiC晶体的方法.本文采用助溶剂法对比考察了Si、Si-Fe合金熔体中SiC晶体生长行为特征,并结合光学显微镜以及电子显微探针对SiC晶体进行分析.研究发现,Si、Si-Fe合金熔体中SiC晶体均以SLS机制生长,受C在两种介质中溶解度的影响,Si熔体中SiC析出尺寸较小,10～50μm,排列成线状分布在样品外侧;Si-Fe熔体中SiC晶体析出尺寸较大,50～200μm,分散在样品中.
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