多层,三维MMIC技术研究动向

来源 :世界电子元器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fibiya

【摘要】

：

随着无线通信个人化、多媒体化的发展,对微波、毫米波电路设计的要求越来越高。这无疑要求MMIC自身的小型化设计。一方面要提高芯品产量的成本率,降低成本;另一方面旨在提高

【作者】

：

孙再吉

【机构】

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电子部南京电子器件研究所

【出处】

：

世界电子元器件

【发表日期】

：

1998年2期

【关键词】

：

三维MMIC 微波集成电路多层布线

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随着无线通信个人化、多媒体化的发展,对微波、毫米波电路设计的要求越来越高。这无疑要求MMIC自身的小型化设计。一方面要提高芯品产量的成本率,降低成本;另一方面旨在提高其工作性能和可靠性。三维MMIC是在这一背景下应运而生的。它通过微细布线和积层电路结构可以实现电路的小型化,是一种符合MMIC小型化、高集成化,低成本要求

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