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本文介绍了作者近年来在准周期多层膜结构(Fibonacci排列)的理论和实验方面的研究。用磁控溅射技术制备了 Nb/Cu、Cu/Ti和 Ta/Al准周期金属超晶格。并用 X射线衍射、电子衍射及电子显微镜、俄歇能谱和光散射等技术研究了这些准周期超晶格的微结构。作为轻重元素多层膜讨论了Ta/Al准周期超晶格在软X射线光学中的应用。本文还介绍了三组元和K组元Fibonacci超晶格结构的最新研究结果。