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对X射线光电子能谱仪(XPS)的中和电子枪提出了一套完整的仿真设计方案。利用计算机模拟软件Opera对XPS中和电子枪的结构进行建模,实现了电子束轨迹、阳极电流和阳极束斑尺寸的设计。模拟结果以直观的形式呈现。通过该仿真实验,学生可以深入理解XPS分析法及中和电子枪结构的基础知识和工作原理。
基于XPS的中和电子枪仿真实验
【摘 要】
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对X射线光电子能谱仪(XPS)的中和电子枪提出了一套完整的仿真设计方案。利用计算机模拟软件Opera对XPS中和电子枪的结构进行建模,实现了电子束轨迹、阳极电流和阳极束斑尺寸
【机 构】
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电子科技大学光电科学与工程学院
【出 处】
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实验室研究与探索
【发表日期】
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2020年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金(61704021),电子科技大学高等教育人才培养质量和教学改革项目(2016XJYYB021)
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