【摘 要】
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对光子筛的聚焦成像原理作了分析，并用平面波角谱方法对光子筛聚焦成像进行了数值模拟．模拟结果表明，光子筛聚焦具有提高分辨率和抑制高级衍射的优点．在理论分析和计算机模拟的基
【机 构】
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中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室,长春理工大学光电工程学院
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对光子筛的聚焦成像原理作了分析，并用平面波角谱方法对光子筛聚焦成像进行了数值模拟．模拟结果表明，光子筛聚焦具有提高分辨率和抑制高级衍射的优点．在理论分析和计算机模拟的基础上，设计并制作了Fresnel波带片、未平滑处理和平滑处理后的光子筛．用波长为532nm激光光源对波带片和光子筛聚焦光斑进行检测．结果表明，光波通过光子筛聚焦后的光斑比波带片的光斑更细，成像对比度更高．
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