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氮化铝（ＡＩＮ）是一种重要的近紫外、蓝光半导体材料。它具有优良的物理特性。本文介绍了用ＭＯＣＶＤ制作的氮化铝波导的物理特性，尤其对氮化铝光波导薄膜的光学特性进行了深入的研究，用波导测试的方法获得了其折射率的精确实验数据。
氮化铝光波导的特性研究
【摘 要】
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氮化铝（ＡＩＮ）是一种重要的近紫外、蓝光半导体材料。它具有优良的物理特性。本文介绍了用ＭＯＣＶＤ制作的氮化铝波导的物理特性，尤其对氮化铝光波导薄膜的光学特性进行了深入的研究，用波导测试
【机 构】
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上海第二工业大学,上海理工大学
【出 处】
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上海第二工业大学学报
【发表日期】
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1998年02期
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