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随着电子工业的飞速发展,晶片的应用越来越广泛,晶片加工技术也越来越受到重视,其中晶片切割是制约后续工序中成品率高低的重要工序。文章概述了半导体材料切割技术现状,介绍了线锯切割的技术原理及其切割机理,并提出了线锯切割技术的发展趋势。
线锯切割技术的应用与发展
【摘 要】
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随着电子工业的飞速发展,晶片的应用越来越广泛,晶片加工技术也越来越受到重视,其中晶片切割是制约后续工序中成品率高低的重要工序。文章概述了半导体材料切割技术现状,介绍
【机 构】
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浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,宁波立立电子有限公司
【出 处】
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超硬材料工程
【发表日期】
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2008年01期
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