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微桥试验法评价薄膜力学性能的研究
微桥试验法评价薄膜力学性能的研究
来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gnaixug
【摘 要】
:
提出了弹性极限和小挠度极限的概念,对微桥在不同长度、厚度以及可能的弹性模量和残余应力范围内的变形行为进行了表征,提出基于弹性、小挠度极限来选择微桥尺度,并确定实验
【作 者】
:
周志敏
周勇
丁文
曹莹
陈吉安
杨春生
【机 构】
:
上海交通大学
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
2005年11期
【关键词】
:
微桥试验
力学性能
固态薄膜
microbridge testings mechanical properties thin films
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提出了弹性极限和小挠度极限的概念,对微桥在不同长度、厚度以及可能的弹性模量和残余应力范围内的变形行为进行了表征,提出基于弹性、小挠度极限来选择微桥尺度,并确定实验载荷及小挠度范围的方法,解决了微桥样品尺度以及载荷、挠度范围选择的问题.对两组挠度-载荷实验曲线的分析表明了该方法的可行性.
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