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4.14 成品率的提高rn困难和挑战rn2009年“成品率的提高”国际技术工作组调研了最新的研发和困难,整理出了与成品率相关的关键的挑战.
国际半导体技术发展路线图(ITRS)2009年版综述(6)
【摘 要】
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4.14 成品率的提高rn困难和挑战rn2009年“成品率的提高”国际技术工作组调研了最新的研发和困难,整理出了与成品率相关的关键的挑战.
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2010年7期
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