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西安交通大学维纳仪器有限责任公司承担的“863”MEMS领域重大专项课题一一“面向石化等重要行业MEMS压力传感器制造与实用化研究”日前顺利通过国家科技部专家组验收。
HEHS压力传感器项目通过科技部专家验收
【摘 要】
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西安交通大学维纳仪器有限责任公司承担的“863”MEMS领域重大专项课题一一“面向石化等重要行业MEMS压力传感器制造与实用化研究”日前顺利通过国家科技部专家组验收。
【出 处】
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自动化技术与应用
【发表日期】
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2006年4期
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