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直接键合硅片的亲水处理及其表征
直接键合硅片的亲水处理及其表征
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bigrobbin
【摘 要】
:
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
【作 者】
:
何进
陈星弼
杨传仁
王新
【机 构】
:
电子科技大学微电子所,成都,610054
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1999年5期
【关键词】
:
硅片直接键合
亲水处理
接触角
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该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥主桥连续预应力混凝土变截面箱梁2#~7#块、8#、8
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