【摘 要】
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PCM(Progress Control and Monitor)工艺过程监控,是半导体制造过程中的一个重要的环节.它主要是对制造过程中的集成电路或者器件芯片的电参数进行测量,反映出产品在制作过程
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PCM(Progress Control and Monitor)工艺过程监控,是半导体制造过程中的一个重要的环节.它主要是对制造过程中的集成电路或者器件芯片的电参数进行测量,反映出产品在制作过程中是否符合工艺要求以及存在哪些质量问题.文中简要分析了PCM测试系统的结构,重点探讨了PCM测试系统应用中保证测试精度和提高测试效率的方法.
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