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原子力显微镜(AFM)作为一种重要的科研、生产工具被广泛使用,其测量精度很大程度上决定于所使用的探针针尖的尖锐度。本研究使用标准微机械加工工艺在低应力氮化硅悬臂上通过各向异性湿法刻蚀形成硅针尖。通过对三十六烷烃和正六十烷的表征测量,验证了探针针尖的纳米尺度尖锐度。
原子力显微镜探针表征烷烃及正烷类有机化合物的研究
【摘 要】
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原子力显微镜(AFM)作为一种重要的科研、生产工具被广泛使用,其测量精度很大程度上决定于所使用的探针针尖的尖锐度。本研究使用标准微机械加工工艺在低应力氮化硅悬臂上通过
【机 构】
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吉林大学物理学院
【出 处】
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分析仪器
【发表日期】
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2020年2期
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