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本文概述了用金属有机物化学气相沉积（ＭＯＣＶＤ）方法制备ＢａＴｉＯ３薄膜的原理和特点，着重介绍低压ＭＯＣＶＤ、等离子体增强ＭＯＣＶＤ和光辅助ＭＯＣＶＤ三种技术在ＢａＴｉＯ３薄膜制备中的应用，并指出了最新进展进行、存在的困难和今后的发展趋势。
BaTiO3薄膜的MOCVD方法制备及进展
【摘 要】
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本文概述了用金属有机物化学气相沉积（ＭＯＣＶＤ）方法制备ＢａＴｉＯ３薄膜的原理和特点，着重介绍低压ＭＯＣＶＤ、等离子体增强ＭＯＣＶＤ和光辅助ＭＯＣＶＤ三种技术在ＢａＴｉＯ３薄膜制备中的应用，并指出了最新进展进行、存在的困难和今后的发
【机 构】
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西安交通大学精细功能电子材料与器件国家专业实验室
【出 处】
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硅酸盐通报
【发表日期】
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1998年2期
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