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应用有限元方法对干涉仪的装配前后的平面反射镜进行了静力学分析,对其在重力作用下水平和垂直放置时进行了分析,通过计算镜面变形的PV值和RMS值来评价是否超差及固定反射镜的结构是否合理 并通过Zernike多项式拟合进行了数据处理,分解出了引起的像差成分,并相应地提出了提高像质的措施.
重力作用下平面反射镜变形研究
【摘 要】
：
应用有限元方法对干涉仪的装配前后的平面反射镜进行了静力学分析,对其在重力作用下水平和垂直放置时进行了分析,通过计算镜面变形的PV值和RMS值来评价是否超差及固定反射镜
【机 构】
：
中国科学院西安光学精密机械研究所,中国科学院西安光学精密机械研究所
【出 处】
：
光子学报
【发表日期】
：
2005年02期
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