大抽速轴流分子泵

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作者简要地介绍了轴流分子泵的工作原理。接着描述了在大油速轴流分子泵上得到的一些结果。该泵的真空度直到1×10乇时仍有9000升/秒量级的抽速。试验期间达到的最低压强为1.4×10~(-11)乇。不过,这并不是泵的极限压强,因为在试验过程,泵之转速减低一半以上,压强仍可维持在5×10~(-11)乇。 The author briefly introduces the working principle of the axial molecular pump. Next, some results obtained on a large oil-flow axial molecular pump are described. The pump vacuum still has a pumping speed in the order of 9000 liters per second up to 1 x 10 torr. The minimum pressure reached during the test was 1.4 × 10 ~ (-11) Torr. However, this is not the ultimate pressure of the pump because the pump speed is reduced by more than half during the test and the pressure can still be maintained at 5 x 10 ~ (-11) torr.
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