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应用膜系设计软件模拟CeO2的负非均匀性对增透膜光谱特性的影响。研究发现：CeO2薄膜的负非均匀性使多层增透膜的反射率增大，使整个反射光谱曲线朝长波方向漂移，从而导致整个膜系的光谱特性偏离理想情形。为此，向CeO2中掺入3种质量比的TiO2来克服其负非均匀性。实验结果表明：CeO2薄膜的负非均匀性与TiO2的掺入比例、基片温度和真空度有关。在一定温度下，要克服CeO2的负非均匀性，对较低的真空度，倾向于掺杂的TiO2越多越好；对较高的真空度，倾向于掺杂的TiO2越少越好。