【摘 要】
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在纳米科学与技术领域 ,纳米定位技术是实现纳米加工与测量的关键技术。本文作者采用柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为微位移驱动器 ,设计了一种新颖的三维纳米定位机构 ,给出
【机 构】
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北京化工大学信息科学与技术学院,北京化工大学信息科学与技术学院 北京100029,北京100029
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在纳米科学与技术领域 ,纳米定位技术是实现纳米加工与测量的关键技术。本文作者采用柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为微位移驱动器 ,设计了一种新颖的三维纳米定位机构 ,给出了其刚度公式和动力学模型 ,对压电陶瓷的压电误差及其补偿方法进行了分析 ,结合激光干涉仪微位移检测装置 ,设计并研制了数字闭环控制的三维纳米定位系统。实验表明 ,该纳米定位系统定位精度优于± 0 .0 3μm,定位分辨力 3nm,最大定位时间 4 0 ms
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