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微机械加速度传感器的检测模态特征频率和有效量程是进行传感器设计时必须要考虑的2个重要参数。文中在对传感器检测模态频率进行有限元分析的基础上，利用电路仿真软件Multisim对传感器等效电路进行了谐振频率分析，并根据线性度指标求得了传感器的有效量程，为微机械加速度传感器的设计提供了参考。
微机械电容式加速度传感器仿真分析
【摘 要】
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微机械加速度传感器的检测模态特征频率和有效量程是进行传感器设计时必须要考虑的2个重要参数。文中在对传感器检测模态频率进行有限元分析的基础上，利用电路仿真软件Multisi
【机 构】
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海军工程大学科研部,海军驻武汉三江航空集团代表室
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2012年12期
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