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光栅是一种精密测量装置，测量原理是以光栅移动形成的莫尔条纹为基础。介绍输出正弦信号和方波信号的光栅在位移测量中脉冲细分的常用方法，分析其中两种方法的电路与波形并对其进行实验，验证细分原理的正确性。
光栅莫尔条纹细分技术的研究
【摘 要】
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光栅是一种精密测量装置，测量原理是以光栅移动形成的莫尔条纹为基础。介绍输出正弦信号和方波信号的光栅在位移测量中脉冲细分的常用方法，分析其中两种方法的电路与波形并对其
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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现代制造工程
【发表日期】
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2004年6期
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