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设备供应商艾司摩尔（ASML）日前宣布已协同比利时微电子研究中心（IMEC）和重量级晶圆厂，合力改良EUV光源功率与晶网产出速度，预计2015年可发布首款量产型EUV机台。ASML亚太区技术行销协理郑国伟提到，ASML虽也同步投入E—Beam基础研究，但目前对相关设备的开发计划仍抱持观望态度。郑国伟表示，ASML于2012年下旬购并微影设备光源供应商——cvmer后，近半年在EUV技术研发方面已有重大突破。