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介绍了在各种磁场作用下利用脉冲真空电弧离子源镀膜的实验现象和实验结果,在此基础上,主要分析了磁场对脉冲真空电弧离子源镀膜均匀性的影响.
磁场对脉冲离子源镀膜均匀性的影响
【摘 要】
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介绍了在各种磁场作用下利用脉冲真空电弧离子源镀膜的实验现象和实验结果,在此基础上,主要分析了磁场对脉冲真空电弧离子源镀膜均匀性的影响.
【机 构】
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西安交通大学,西安工业学院
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2001年4期
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