【摘 要】
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用聚合物材料BPAN-NT设计并初步成功制作了共面波导（CPW）行波电极电光调制器。用反应离子刻蚀（RIE）的方法制作脊波导，通过电晕极化使芯层有电光效应，利用电镀方法制作厚行波电极。
【机 构】
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清华大学电子工程系,清华大学化学工程系
【基金项目】
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国家科技部“863”计划资助项目(2002AA313130);清华大学基础研究基金资助项目(JZ200005)
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用聚合物材料BPAN-NT设计并初步成功制作了共面波导（CPW）行波电极电光调制器。用反应离子刻蚀（RIE）的方法制作脊波导，通过电晕极化使芯层有电光效应，利用电镀方法制作厚行波电极。对调制器的各项特性参数进行了测试，测得调制器的微波损耗系数α0=0．9dB／cm·（GHz）^1/2、在1．317μm波长上Vz=250V，由此算得芯层材料的电光系数γ33=3．7pm／V，同时测得消光比为13．49dB、插入损耗为18．6dB，在8GHz的微波频率上观察到了调制光信号，理论计算3dB光调制带宽为4
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