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分析了共光路外差干涉仪光路中几个组成元件的调整方法 ,包括入射光位置的调整、渥拉斯顿棱镜位置的调整、被测表面位置的调整等。
外差干涉仪中光路调整的分析
【摘 要】
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分析了共光路外差干涉仪光路中几个组成元件的调整方法 ,包括入射光位置的调整、渥拉斯顿棱镜位置的调整、被测表面位置的调整等。
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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2000年1期
【基金项目】
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航天工业总公司“八五”重点预研项目!( 4 .2 .2 .15 )
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