高性能微加速度计接口电路的研究

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介绍一种可用于微机械电容式加速度计检测的接口电路,该电路利用电荷放大器把电容变化转变成电压变化,再对被加速度信号调制的载波信号进行解调,经过低通放大滤波,最后得到与加速度信号成正比的直流电压信号,具有测量差分电容变化的功能和灵敏度高、线性好的特点。整体电路通过Pspice进行了仿真,优化后制成PCB板进行实验。实验结果线性度为5%,灵敏度为19.5V/pF,表明该电路是一种具有实用价值的电容式加速度计检测接口电路。
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