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热丝CVD方法生长金刚石薄膜中石墨成份控制
热丝CVD方法生长金刚石薄膜中石墨成份控制
来源 :高压物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wintertear0704
【摘 要】
:
在用热丝CVD方法生长金刚石薄膜中,研究了生长条件对制备膜中石墨和非晶碳成份的影响,发现较高的碳源浓度或较低的衬底温度会使制备膜中非金刚石相碳成份增加。
【作 者】
:
杨国伟
毛友德
Zhang S.G
【机 构】
:
航空工业部第014中心,合肥工业大学应用物理系,阿拉巴马州立本学物理系
【出 处】
:
高压物理学报
【发表日期】
:
1993年4期
【关键词】
:
热丝
金刚石
薄膜
石墨
汽相生长
HFCVD
diamond thin film
graphite.
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在用热丝CVD方法生长金刚石薄膜中,研究了生长条件对制备膜中石墨和非晶碳成份的影响,发现较高的碳源浓度或较低的衬底温度会使制备膜中非金刚石相碳成份增加。
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