论文部分内容阅读
针对离子注入机的晶圆传输过程,提出了一种提高晶圆传输效率的方法,在晶圆自动传输的基础上,对机械手传输动作、电机动作进行优化,节约不必要的时间消耗,提高了晶圆机械传输效率,同时开展晶圆温度技术研究,通过提升晶圆的扫描速度实现晶圆表面热量的减少,改善了工艺加工后晶圆的整体质量及性能。
提高离子注入机晶圆机械传输效率及晶圆散热优化研究
【摘 要】
：
针对离子注入机的晶圆传输过程,提出了一种提高晶圆传输效率的方法,在晶圆自动传输的基础上,对机械手传输动作、电机动作进行优化,节约不必要的时间消耗,提高了晶圆机械传输
【机 构】
：
中电科电子装备集团有限公司,北京烁科中科信电子装备有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2020年6期
其他文献
目的探索有氧运动干预对癌症抑郁患者认知功能的影响。方法选取2016年5月至2019年5月中国人民解放军总医院第二医学中心收治的癌症抑郁患者84例为研究对象,依据干预方式不同
分析了镇胜高速公路晴隆隧道左线出口施工发生涌水的原因，通过加强初期支护与二次衬砌的防排水措施，并采用双液浆注浆堵水工艺快速堵水，避免破坏地下水正常循环，确保了隧道围岩的
以湖北随岳中高速公路建设为背景，基于环保与景观前置的新理念，提出了高速公路服务区环保景观设计的原则，并从科学选址、合理布局设计、多元化建筑造型与景观小品及绿化设计和服
在分析高性能混凝土对各组成材料的特殊要求的基础上,以强度等级42.5R的硅酸盐水泥、粒径5～20 mm花岗岩碎石、NNO型萘系减水剂及矿物掺合料(II级粉煤灰和磨细矿渣)为原材料,可