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研究了H型直线电动机工作台的误差测量、建模及补偿技术。首先分析了定位平台的误差来源,采用激光矢量测量方法测量工作台的定位误差;然后用最小二乘法分别建立工作台的分段线性,用BP算法建立神经网络误差模型,利用误差模型构造了各电动机的一维或二维误差校正表;最后,根据误差校正表进行误差实时补偿实验。实验结果表明,经过样本训练的神经网络模型对工作台的误差具有较强的预测能力,将工作台两个方向的定位精度都提高到1μm。