压阻式振动角加速度传感器

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 8次 | 上传用户:spring19760128
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文对压阻式振动角加速度传感器的惯性变换系统的结构特性、工作原理进行了分析讨论 .建立了数学模型 .并用实验证实了该惯性系统设计合理 .它可以作为角度传感器的惯性变换系统 ,用于振动角位移、角速度、角加速度的测量中
其他文献
本文针对火电厂燃煤炉煤粉仓粉位测量的现状及存在的问题 ,提出了一种分段电容、连续正交排列 ,总线驱动的测量理论 ,并据此研制了高精度 ,高可靠性 ,高性价比的粉位实时监测系统 ,经国内 6 0多家火力发电厂的实际应用证明 ,这是一项有生命力的创新 ,值得在火电厂普遍推广应用。
基于BFGS最优化方法,提出一种新型的ERT图像重建算法:改进的BFGS算法.新算法采取了不精确搜索方向,并用单位矩阵近似代替目标函数的Hessian矩阵,以减小计算量,提高算法的重建速度.将新算法应用于两相流空隙率的测量.数值实验证明,新算法重建图像的质量优于目前常用的灵敏度系数法,空隙率测量的最大绝对误差可小于8%,获取一个空隙率测量值的时间小于0.1s.
本文详细分析了用各向异性腐蚀技术形成的压阻式压力传感器硅杯的几种腐蚀方法,根据实验提出了它们的优缺点,介绍了几种各向异性蚀的自致停止法和腐蚀中削角的补偿方法,对制造微