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主要介绍了JBQ-3200型全自动金属膜剥离清洗系统设备功能、用途、结构组成、性能指标、主要特点，以及解决的关键技术和应用，能自动完成厚度在0．25～0．7min的Фb10＋200mm具有基准边的标准圆片微细图形金属膜剥离、清洗和甩千工艺，剥离线宽能做到0．35μm以上，是声表面波（SAW）器件、GaAs微波、毫米波器件、MEMS器件、OLED器件和先进封装等器件制造工艺中的关键设备。