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期刊论文
一种新型结构光栅测微传感器
一种新型结构光栅测微传感器
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 5次 | 上传用户:roc9055
【摘 要】
:
介绍一种新型结构光栅测微传感器,测量范围0~20mm,采用双轴直线运动轴承导轨,结构新颖紧凑,测量精度为±1μm。
【作 者】
:
倪学,韩雪冰
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
0年GXJM602.015期
【关键词】
:
计量光栅
测微传感器
直线运动
轴承导轨
Metrology grating technique
Micro--measuring linear encole
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介绍一种新型结构光栅测微传感器,测量范围0~20mm,采用双轴直线运动轴承导轨,结构新颖紧凑,测量精度为±1μm。
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