一种新型结构光栅测微传感器

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 5次 | 上传用户:roc9055
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介绍一种新型结构光栅测微传感器,测量范围0~20mm,采用双轴直线运动轴承导轨,结构新颖紧凑,测量精度为±1μm。
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