【摘 要】
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超声引线键合质量受多种键合工艺参数的影响,如键合时间、键合功率、键合压力和键合温度等,每一个参数的不合理都可能导致整个键合过程失败.通过正交实验方法设计了键合工艺
【基金项目】
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浙江省科技厅重大科技专项社会发展项目(2013C13SAA10007);浙江省教育厅科研项目(Y201328404);浙江海洋学院科研启动项目(21185011311);浙江海洋学院中青年教师资助项目(11182101112);浙江海洋学院校级面上项目(21185004112)
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超声引线键合质量受多种键合工艺参数的影响,如键合时间、键合功率、键合压力和键合温度等,每一个参数的不合理都可能导致整个键合过程失败.通过正交实验方法设计了键合工艺参数正交试验表,利用键合强度作为键合质量指标对键合工艺参数进行了多参数优化;分析了各个工艺参数对键合质量的影响,通过进一步细化分析得到了键合参数的最优组合.优化结果实验证明了这种方法的良好效果.若应用于不同型号键合设备工艺参数的优化,只需对正交试验表进行适当调整即可.
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