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介绍了磨料射流抛光的工作原理，并从试验出发，针对射流抛光技术的主要工艺参数（入射角度、射流速度、入射距离、抛光液浓度和工作时间等）对抛光特性的影响进行了试验研究。分析了各工艺参数与抛光效率和抛光点形貌的影响关系，从而获得了最佳工艺参数。在此基础上，对一平面K9光学玻璃进行了抛光试验，抛光速率约为30nm／min，抛光区粗糙度小于2．5nm。研究结果为磨料射流抛光加工的进一步研究提供了一定的帮助。