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电感耦合等离子体四极杆质谱仪是现在应用最广泛的仪器之一，此仪器的国产化具有重要的意义。作为国家重大科学仪器开发项目中的仪器研制单位，公司通过自主研发，研制了等离子体四极杆质谱仪。射频电源作为电感耦合等离子体质谱仪的核心部件之一，射频电源的离子化效率决定了仪器的基本性能。通过不断改进射频电源设计，比较研究了不同基体中，射频电源功率及仪器进样量的改变对不同元素的影响。由结果可知各元素在高功率及低进样量时，基体效应最小、离子化效率最高，各元素在不同基体中的回收率均可达到80％～100％之间，满足电感耦合等离子体