显微拉曼成像技术在钽酸锂晶体的成分、缺陷和应力分布表征中的应用研究

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采用激光共聚焦显微拉曼光谱仪分别对钽酸锂晶体进行了显微拉曼成像测试研究,以865 cm-1特征峰峰强度对钽酸锂的成分分布进行了显微拉曼成像;以865 cm-1特征峰半高宽对晶体中锂含量分布进行了显微拉曼成像;以750 cm-1缺陷峰强度对晶体中的本征缺陷分布进行了显微拉曼成像;以865 cm-1特征峰峰位置对晶体中的应力分布进行了显微拉曼成像。测试结果表明,显微拉曼成像可以很好地对钽酸锂单晶片的化学成分和组分、本征缺陷
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