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在热中子与快中子成份比大于70的条件下,用6.5×10^16cm^-2和6.5×10^18cm^-2剂量水平辐照纯净GaAs样品,研究由于嬗变产生的杂质和损伤。所得结果表明:热中子对Ga、As发生俘获核反应,其最终稳定产物Ge作为两性杂质元素被导入;复杂的移位缺陷形成及其热行为是影响辐照后GaAs是学性质变化的重要因素。