多温区空间晶体生长炉温度系统积分滑模变结构控制

来源 :系统仿真学报 | 被引量 : 2次 | 上传用户:jiujiejushi
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多温区空间晶体生长炉温度系统是多输入多输出、强耦合对象。晶体生长要求对炉温进行精密控制,为抑制各温区间的耦合作用,提出一种积分滑模变结构控制器,利用其对匹配扰动的不变性实现解耦,同时,该控制器的积分作用可以有效减小系统稳态误差。仿真结果显示该方法是有效的。
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