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多温区空间晶体生长炉温度系统积分滑模变结构控制
多温区空间晶体生长炉温度系统积分滑模变结构控制
来源 :系统仿真学报 | 被引量 : 2次 | 上传用户:jiujiejushi
【摘 要】
:
多温区空间晶体生长炉温度系统是多输入多输出、强耦合对象。晶体生长要求对炉温进行精密控制,为抑制各温区间的耦合作用,提出一种积分滑模变结构控制器,利用其对匹配扰动的不变性实现解耦,同时,该控制器的积分作用可以有效减小系统稳态误差。仿真结果显示该方法是有效的。
【作 者】
:
于强
石春
吕旭涛
秦琳琳
岳大志
【机 构】
:
中国科学院空间科学与应用研究中心,中国科学技术大学自动化系,
【出 处】
:
系统仿真学报
【发表日期】
:
2009年06期
【关键词】
:
multi-zone furnace for space crystal growth
decoupling control
integral slide-mo
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多温区空间晶体生长炉温度系统是多输入多输出、强耦合对象。晶体生长要求对炉温进行精密控制,为抑制各温区间的耦合作用,提出一种积分滑模变结构控制器,利用其对匹配扰动的不变性实现解耦,同时,该控制器的积分作用可以有效减小系统稳态误差。仿真结果显示该方法是有效的。
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