高分子纳米LB膜的制备及其光刻性能研究

来源 :第六届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sunnus31

【摘要】

：

合成并表征了N-十六烷基丙烯酰胺(HDA)和对叔丁基苯酚甲基丙烯酸酯(BPhMA)的共聚物p(HDA-BPhMA)s.当HDA含量较高时,共聚物可在气/液界面上形成稳定,排列紧密的单分子薄膜,并可以Y型膜的方式沉积在各种固体基片上,形成多层均匀的Langmuir-Blodgett(LB)膜。这种LB膜被成功地应用于光刻,获得了分辨率为0.5 μm的LB膜图形.以该图形为抗蚀层,可将图形进一步转移至

【作者】

：

曾国良李铁生许文俭张素华王筠赵娜吴养洁

【机构】

：

郑州大学,化学系,河南省化学生物与有机化学重点实验室,郑州市先进纳米信息材料重点实验室,河南,郑州,450052

【出处】

：

第六届中国功能材料及其应用学术会议

【发表日期】

：

2007年4期

【关键词】

：

纳米LB膜纳米抗蚀薄膜材料光刻性能共聚物刻蚀

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